無機材料×深紫外レーザープロセス
システム情報科学研究院 電気システム工学部門
システム情報科学府 電気電子工学専攻
工学部 電気情報工学科
みなさんが現在手にしている電子機器の中には従来から使われている材料（例えば、半導体ならシリコン、のような）だけでなく、新しく見出された材料や、いままで知られていなかった機能を発揮する材料がたくさん使われています。ガラスのような酸化物材料がシリコンの代わりにトランジスタ用の半導体としてスマートフォンやタブレットPCの中に使われていたりします。我々は無機材料というカテゴリーの中で、新しい材料を探したり、既に知られている材料の中に新しい機能・性質を発揮させることを目指した研究をしています。その研究のためのツールとして、強力な紫外線ビームを発生するエキシマレーザーを使い、新しい材料の合成や新しい機能を出すための処理などを行っています。これらの新しい材料・機能が次の世代のデバイスに適用されるように、日々研究を進めています。
所属教員
薮田 久人 教授
主な研究テーマ
- 深紫外パルスレーザーを用いた新しい半導体デバイス製造プロセスの開発
- 機能性無機材料（酸化物半導体, 誘電体, etc.）のデバイス応用と物性研究
