研究室紹介

プラズマ工学研究室

システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門

システム情報科学府 電気電子工学専攻

工学部 電気情報工学科

本研究室では，革新的プラズマの創成を目指して，

  1. プラズマ中の反応制御による高品質・高スループットプロセス技術の開発
  2. プラズマを用いた機能性ナノブロック作製と応用
  3. プラズマ-表面相互作用の解明
  4. プラズマ農業の創成

を主要研究課題としている。

以下の研究を行っている。

  • 太陽電池用超高品質光安定a-Si:H作製用プラズマ技術開発
  • ナノ粒子を用いた革新的次世代太陽電池材料開発
  • プラズマ異方性CVDを用いた，微細構造への薄膜堆積制御
  • LSI用超低誘電率層間絶縁膜用ナノ粒子含有膜の創成
  • プラズマを用いたナノシステム構築に関する基礎研究
  • 核融合実験炉内に発生する微粒子（ダスト）の発生・成長機構解明
  • プラズマを用いた植物成長促進

研究室ホームページ

所属教員

白谷 正治 教授 ／古閑 一憲 教授 ／鎌滝 晋礼 助教

主な研究テーマ

  • プラズマ中の反応制御による高品質・高スループットプロセス技術の開発
  • プラズマを用いた機能性ナノブロック作製と応用
  • プラズマ-表面相互作用の解明
  • プラズマ農業の創成
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