電子物性デバイス工学研究室
総合理工学研究院 エネルギー科学部門
総合理工学府 総合理工学専攻
工学部 融合基礎工学科
センシング材料とデバイス、さらにはデバイス創製のための要素技術を含めたプロセスと評価技術に関する研究を、材料創製からその評価、さらにはデバイス作製までを一貫して行うことで遂行している。センシング材料の創製にはスパッタ法、レーザーアブレーション法、同軸型アークプラズマ堆積法などの物理気相成長法を主に用い、デバイス創製のための新しい要素技術としてレーザーを駆使した方法の開発に積極的に取り入れている。
所属教員
吉武 剛 教授
主な研究テーマ
- ダイヤモンドや酸化ガリウム等のワイドギャップ半導体による極環境でも動作するセンサーおよび光電変換素子の開発
- ダイヤモンド中への量子センターの創製のためのプロセス開発とその量子センサーおよびバイオマーカーとしての応用
- 半導体へのスピン注入とそれに基づく半導体スピンデバイスの創成
