研究室紹介

精密加工学研究室

工学研究院 機械工学部門

工学府 機械工学専攻

工学部 機械工学科

超精密加工・光学計測技術による省エネルギーデバイスと機械要素部品の加工技術・製造プロセスの確立を目指して，最先端の加工・計測技術に挑戦

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精密加工学

所属教員

黒河 周平 教授 ／林 照剛 准教授 ／佐島 隆生 助教

主な研究テーマ

  • 超精密加工技術に関する研究: 省エネルギーデバイス用材料のCMP(Chemical Mechanical Polishing)，機械要素部品の超精密加工と性能評価試験
  • 超精密計測技術に関する研究: 光学計測, 三次元計測技術
  • 独創的加工技術・加工機器・測定技術の研究開発: レジスト薄膜の均一塗布技術,フェムト秒レーザを用いた表面励起加工等
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